一种光刻版翻版机及光刻版翻版系统
基本信息
| 申请号 | CN202110635723.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113391525A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113391525A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 于航;马占良;刘俊嘉 | 申请（专利权）人 | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 成都极刻智慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 唐维虎 |
| 地址 | 132000吉林省吉林市高新区深圳街99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种光刻版翻版机及光刻版翻版系统，光刻版翻版机包括：底板、上版框、下版框、合页组件结构和曝光单元；下版框位于底板的一侧，上版框通过合页组件结构与下版框活动连接，曝光单元位于上版框远离下版框的一侧；下版框和上版框用于容置待制作的光刻版；曝光单元用于提供光源将待曝光的母版图形接触式曝光至光刻版上，通过上述设置，能够制作得到图形形状、尺寸线宽与母版一致的光刻版，解决了母版上存在尘埃、划伤、沾污等缺陷，曝光后芯片表面存在的缺陷严重影响产品合格率、电学参数和质量的问题，同时大大降低光刻版原材料成本。 |
