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一种探针台及芯片测试系统

基本信息

申请号 CN202110397438.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113092989A 公开（公告）日 2021-07-09
申请公布号 CN113092989A 申请公布日 2021-07-09
分类号 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 杨昌林;付云龙;程国庆;张帅 申请（专利权）人 吉林华微电子股份有限公司
代理机构 成都极刻智慧知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 唐维虎
地址 132000吉林省吉林市高新区深圳街99号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种探针台及芯片测试系统，探针台包括载片台、可拆卸固定件、第一探针、第二探针以及第三探针，为解决相关技术中单面芯片和双面芯片由于结构不同需要不同的探针台进行芯片测试的问题，在待测芯片被配置为双面芯片时，第一探针、第二探针和第三探针被配置为双面芯片测试结构进行芯片测试，在待测芯片被配置为单面芯片时，第一探针、第二探针和可拆卸固定件被配置为单面芯片测试结构进行测试，利用了可拆卸固定件参与测试回路的形成，无需设置额外的部件或者更换额外的部件即可在一个探针台上进行单面芯片和双面芯片的测试，进而减少芯片检测所需设备数量，在降低设备成本的同时提高设备利用率。