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MEMS微镜、激光雷达及自动驾驶设备

基本信息

申请号 CN201911069152.6 申请日 -
公开（公告）号 CN111562560A 公开（公告）日 2020-08-21
申请公布号 CN111562560A 申请公布日 2020-08-21
分类号 G01S7/481(2006.01)I 分类 -
发明人 李帆雅;沈文江 申请（专利权）人 苏州希景微机电科技有限公司
代理机构 北京市浩天知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王广涛
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例涉及雷达技术领域，提供了一种MEMS镜面、激光雷达及自动驾驶设备。MEMS镜面包括框架、转轴、镜面、磁铁和线圈；转轴包括互相垂直的第一转轴和第二转轴；镜面通过转轴与框架连接，镜面用于反射激光光束，镜面能够绕第一转轴和第二转轴扭转；线圈设置于框架上；磁铁包括相互独立的第一磁铁组和第二磁铁组，第一磁铁组包括至少一对磁铁，第二磁铁组包括至少一对磁铁，第一磁铁组与线圈产生驱动镜面绕第一转轴扭转的驱动力，第二磁铁组与线圈产生驱动镜面绕第二转轴扭转的驱动力。本发明实施例降低了第一转轴和第二转轴运动时的相互干扰。