MEMS微镜、激光雷达及自动驾驶设备
基本信息
| 申请号 | CN201911069153.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111562561A | 公开（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申请公布号 | CN111562561A | 申请公布日 | 2020-08-21 |
| 分类号 | G01S7/481(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李帆雅;沈文江 | 申请（专利权）人 | 苏州希景微机电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市浩天知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王广涛 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例涉及雷达技术领域，提供了一种MEMS微镜、激光雷达及自动驾驶设备。MEMS微镜包括框架、转轴、镜面、磁铁和线圈；所述框架包括第一框架和第二框架；所述转轴包括第一转轴和第二转轴，所述第一转轴连接所述第一框架和所述镜面，所述第二转轴连接所述第一框架和所述第二框架，所述第一转轴和所述第二转轴的轴向方向呈十字交叉设置；所述镜面用于反射激光光束，其能够绕所述第一转轴和所述第二转轴扭转；所述磁铁和线圈位于所述镜面的背面一侧，用于产生驱动所述镜面扭转的驱动力。本发明实施例提高了出射激光的能量利用率。 |
