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一种MEMS微镜的测试图像获取装置及测试系统

基本信息

申请号 CN202022579638.9 申请日 -
公开（公告）号 CN213580686U 公开（公告）日 2021-06-29
申请公布号 CN213580686U 申请公布日 2021-06-29
分类号 G01N21/84（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 李帆雅 申请（专利权）人 苏州希景微机电科技有限公司
代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 代理人 孙伟峰;贾珍珠
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种MEMS微镜的测试图像获取装置及测试系统，所述测试图像获取装置包括用于承载MEMS微镜的载台、依次设于载台上方的分光镜和激光器、间隔设于载台侧部的屏幕、及测试探针；激光器用于发射光束；分光镜用于透射及反射光束；测试探针与载台上的MEMS微镜电连接，用于向MEMS微镜传输测试信号；MEMS微镜可在测试信号的激励下发生偏转。本实用新型的MEMS微镜的测试图像获取装置及测试系统可在芯片层面对MEMS微镜性能进行快速高效测试，提高了产能，降低了成本。且测试精度高，适用范围广，测试过程便于观察。