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一种电磁驱动式MEMS微镜

基本信息

申请号	CN202020579906.4	申请日	-
公开（公告）号	CN211698425U	公开（公告）日	2020-10-16
申请公布号	CN211698425U	申请公布日	2020-10-16
分类号	G02B26/10(2006.01)I	分类	-
发明人	李帆雅;魏迪;周小文;沈文江	申请（专利权）人	苏州希景微机电科技有限公司
代理机构	深圳市铭粤知识产权代理有限公司	代理人	孙伟峰;阳志全
地址	215000江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种电磁驱动式MEMS微镜，包括透明的上盖、导热的基座、微镜以及螺线管，上盖盖设于基座上表面，并与基座围成真空的空腔，微镜固定并容纳于空腔内，包括框架、反射镜以及磁铁，反射镜固定在框架内，螺线管固定在基座内且顶端与反射镜间隔设置，磁铁固定在反射镜背面，用于在通电的螺线管的作用下，带动反射镜相对于框架发生扭转。本实用新型的电磁驱动式MEMS微镜，由于微镜芯片上集成的驱动器为磁铁，并不产生热量，MEMS微镜仍可以采用真空式的封装结构，既能快速散热，又能有效避免真空封装方式影响器件的正常工作带来的发热问题，而且不需要在真空腔室内进行电连接，因此不会影响封装置的气密性，有利于电磁驱动式MEMS微镜性能的提升。