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扫描微镜

基本信息

申请号 CN202020591279.6 申请日 -
公开（公告）号 CN211577560U 公开（公告）日 2020-09-25
申请公布号 CN211577560U 申请公布日 2020-09-25
分类号 G02B26/10(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I 分类 光学;
发明人 李帆雅;沈文江 申请（专利权）人 苏州希景微机电科技有限公司
代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 代理人 孙伟峰;阳志全
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种扫描微镜，包括框架、反射镜以及连接在所述框架与反射镜之间的扭转梁，所述框架将所述反射镜包围于其中并与所述反射镜间隔设置；所述反射镜包括自其边缘朝径向凹陷形成的缺口部，所述扭转梁的第一端连接所述框架，所述扭转梁的第二端延伸至所述缺口部内并与所述反射镜连接，所述扭转梁的第二端的宽度大于所述扭转梁的第一端的宽度。本实用新型将扭转梁的根部设置在反射镜内部，削弱了扭转梁对于微镜内镜面填充率的影响，同等尺寸微镜内的镜面填充率得以提高，有效地增大了反射镜镜面的口径，同时也避免微镜出现不必要的跳动，降低了扭转梁对扫描镜的频率、偏转角度、机械稳定性等的影响。