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微镜装置以及封装其的封装装置

基本信息

申请号 CN202020579072.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211786362U 公开（公告）日 2020-10-27
申请公布号 CN211786362U 申请公布日 2020-10-27
分类号 G02B26/10(2006.01)I;B65D85/38(2006.01)I 分类 光学;
发明人 李帆雅;魏迪;周小文;沈文江 申请（专利权）人 苏州希景微机电科技有限公司
代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 代理人 孙伟峰;武岑飞
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号D209室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种微镜装置，其包括：微反射镜、支撑件、驱动部、反馈部；所述支撑件包括支撑部以及由所述支撑部的相对两端分别向外延伸形成的偏转轴，所述微反射镜设置于所述支撑部上；所述驱动部和所述反馈部设置于所述微反射镜的同一镜面侧，并且所述驱动部和所述反馈部分别位于所述偏转轴所在直线的两侧；所述驱动部用于驱动所述微反射镜绕所述偏转轴进行偏转，所述反馈部用于反馈所述微反射镜的偏转量。本实用新型还提供了封装该微镜装置的封装装置。本实用新型将驱动部和反馈部与微反射镜分离设置，这样驱动部和反馈部长时间工作产生的热量不会传递到微反射镜或者支撑件上，因此微反射镜的可靠性被大大地提高。