一种水性蚀刻光阻剂用输送装置

基本信息

申请号 CN201920155961.8 申请日 -
公开(公告)号 CN209604903U 公开(公告)日 2019-11-08
申请公布号 CN209604903U 申请公布日 2019-11-08
分类号 F17D1/18(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 钟水英; 何伟富; 何伟豪 申请(专利权)人 广州森川合成材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 511400 广东省广州市番禺区石基镇石基村旦岗西街2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及光刻胶输送技术领域,且公开了一种水性蚀刻光阻剂用输送装置,包括光刻胶贮存罐和与光刻胶贮存罐相连通的输送管,输送管的管壁固定设有减速电机,减速电机的输出端通过联轴器固定连接有往复丝杆,往复丝杆的左右两端均固定套接有限位块,且限位块与输送管的外部固定连接设置,往复丝杆的杆壁活动套设有滑管,两个限位块之间设有限位杆,限位杆的一端贯穿滑管的侧壁并向外延伸设置,限位杆的两端分别与两个限位块的侧壁固定连接设置,输送管的外壁对称设有两个弧形板。本实用新型能够对输送管进行均匀地加热,从而防止光阻剂的凝结,保证光阻剂在涂敷时厚度的均匀性,便于人们的使用。