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一种金刚线多晶切片制绒添加剂及其制备方法、使用方法

基本信息

申请号 CN201810415019.0 申请日 -
公开（公告）号 CN108624962A 公开（公告）日 2018-10-09
申请公布号 CN108624962A 申请公布日 2018-10-09
分类号 C30B33/10;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王肖杰;叶俊 申请（专利权）人 上海汉遥新材料科技有限公司
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 代理人 冯子玲
地址 201512 上海市金山区金山卫镇秋实路688号1号楼5单元306室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种金刚线多晶切片制绒添加剂及其制备方法、使用方法。采用丁二酰亚胺、草酸、自制特殊表面活性剂等为原料，不仅通过弱酸作为缓蚀剂，从而降低刻蚀液的电离速率，控制不同晶向硅体腐蚀速率，同时通过自制特殊表面活性剂在制绒过程中吸附在硅片表面，起到腐蚀模板和改善制绒液在硅片表面的铺展性能，来提高制绒均匀性和成核密度。此多晶切片制绒添加剂配方使得制绒面更均匀，反射率控制在21％～24％；光电转换平均效率不低于18.8％。本发明适用于金刚线多晶切片制绒时使用。