控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN202110160613.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112981343A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112981343A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/54;G02F1/155 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵勇 | 申请（专利权）人 | 苏州光昛智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 娄岳 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市太仓市大连东路36号1号楼1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法，所述电致变色器件包括第一透明导电层和第二透明导电层，利用磁控溅射工艺在基板上镀第一透明导电层和第二透明导电层时，沿着第一透明导电层的阳极到阴极方向，所使用的氧气分压梯度逐渐减少，沿着第二透明导电层的阳极到阴极方向，说是使用的氧气分压梯度逐渐增加。 |
