一种无机电致变色薄膜的溅射镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202110730485.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113481474A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113481474A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I;G02F1/1523（2019.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵勇 | 申请（专利权）人 | 苏州光昛智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 谢中用;娄岳 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市太仓市大连东路36号1号楼1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及电致变色领域，公开了一种无机电致变色薄膜的溅射镀膜方法，包括以下步骤：制作第一靶材和第二靶材；第一靶材和第二靶材中至少有一个靶材包含电致变色薄膜的主要构成金属元素，至少有一个靶材包含电致变色薄膜所要掺杂的金属元素；将第一靶材和第二靶材分别连接到双极电源的两极；所述双极电源能够发出方波脉冲状的连续式正负电压脉冲；通过调整施加在第一靶材和第二靶材上电压脉冲的宽度比，改变掺杂金属元素在电致变色薄膜中的占比；能够低成本、便捷的改变镀膜掺杂比例。 |
