无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110169318.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112981345A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112981345A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵勇 | 申请（专利权）人 | 苏州光昛智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 娄岳 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市太仓市大连东路36号1号楼1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种无需退火的全固态电致变色器件透明导电极的制作方法，其特征在于：使用磁控溅射工艺在玻璃基板上镀透明导电极时，将银金属靶材和透明导电极靶材共同溅射到玻璃基板上且不进行退火处理，使得透明导电极的方阻不超过10ohm/□，且透过率大于或者等于86.5％。 |
