一种DSOI应变计及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201510395248.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105091730B | 公开（公告）日 | 2019-05-10 |
| 申请公布号 | CN105091730B | 申请公布日 | 2019-05-10 |
| 分类号 | G01B7/16（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 沈绍群; 罗小勇; 梁栋汉 | 申请（专利权）人 | 上海旦宇传感器科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 广东和宇传感器有限公司; 上海旦宇传感器科技有限公司 |
| 地址 | 529100 广东省江门市新会区会城西门路圭峰高科技工业村主车间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种DSOI应变计及其制作方法，包括应变计，应变计包括衬底层和器件薄膜层，所述器件薄膜层设于衬底层上方且两者之间设有绝缘薄膜层隔离，器件薄膜层包括至少一个电阻敏感栅，每个电阻敏感栅由至少两条电阻条串接而成，衬底层底部设有与其相接的绝缘膜基底。该结构减少了电泄漏，提高了传感器的工作温度范围，同时衬底层底部的绝缘膜基底把整个应变计连成一片，既保证了电阻敏感栅中电阻条的相对位置不发生变化，减小全桥电路的失调电压，又防止了玻璃胶中的有害杂质直接与衬底层、弹性膜接触，提高了应变计与弹性膜之间的绝缘耐压性能。 |
