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一种高真空智能微水测量装置和方法

基本信息

申请号 CN202110731557.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113466082A 公开（公告）日 2021-10-01
申请公布号 CN113466082A 申请公布日 2021-10-01
分类号 G01N7/14（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 韩学锋;胡宽海;边渊;赵航;苏保勤 申请（专利权）人 中国西电电气股份有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 朱海临
地址 710077陕西省西安市大庆路485号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高真空智能微水测量装置和方法，包括托板、弯管、传输装置、法兰、电磁阀、玻璃管和单晶硅压力传感器；托板上设置有单晶硅压力传感器和传输装置，单晶硅压力传感器的输出端连接传输装置的输入端，传输装置的输出端连接数据处理装置的输入端；玻璃管设置在法兰上，玻璃管的上端连通冷凝器的排水口，玻璃管的底部设置有出水管道，出水管道上设置有电磁阀；单晶硅压力传感器连通弯管的一端，弯管的一端的另一端连接玻璃管的底部。通过设置玻璃管和单晶硅压力传感器，测量探头上的液体静压与实际大气压之差，用于干燥终点判断。保证检测数据准确度、降低操作人员劳动强度，更好保证产品干燥质量。