一种红外模组退火装置
基本信息
| 申请号 | CN202120506588.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214408359U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214408359U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | G01N1/44（2006.01）I;G01N25/00（2006.01）I;H01L21/268（2006.01）I;H05B6/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州奥创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨文华 |
| 地址 | 311121浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路7号B幢209室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种红外模组退火装置，包括箱体，在箱体上设置真空管，在箱体内设置红外模组加热器、载物台和加热器支架，红外模组加热器安装在加热器支架上，载物台设置在红外模组加热器的正下方，载物台用于放置待退火基片，在加热器支架上设置用于调整红外模组加热器与载物台之间高度的调整装置；红外模组加热器包括一组红外灯管、灯罩和灯箱体，一组红外灯管和灯罩分别固定在灯箱体上，灯箱体固定在加热器支架上。本实用新型通过快速升温和高真空来短时间内带走溶剂，减短后处理时间和提高退火处理的均匀性。 |
