一种强稳固性晶圆级扇出集成芯片和无源器件的封装结构

基本信息

申请号 CN202121565744.X 申请日 -
公开(公告)号 CN214848593U 公开(公告)日 2021-11-23
申请公布号 CN214848593U 申请公布日 2021-11-23
分类号 H01L23/31(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L25/16(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨文涛 申请(专利权)人 江苏芯德半导体科技有限公司
代理机构 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 代理人 裴素艳
地址 210000江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号A-11
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种强稳固性晶圆级扇出集成芯片和无源器件的封装结构,包括芯片、无源器件、再钝化层、再分布线层及凸块下金属化层;芯片和无源器件的数量均为至少一个,芯片和无源器件表面分别封压有ABF膜,所述ABF膜上层包覆有塑封料层,所述塑封料层表面封压有支撑晶圆;再钝化层和再分布线层位于芯片压区、无源器件压区与凸块下金属化层之间,所述再钝化层和再分布线层的一端与芯片压区、无源器件压区接触,另一端通过焊球凸点与凸块下金属化层耦合。本实用新型实现了晶圆级扇出异构封装芯片和电容电感,减小了芯片和无源器件的封装尺寸、提高了封装效率并且缩短了整个封装流程。