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一种在线非接触测厚设备及其测量方法

基本信息

申请号 CN201710078987.2 申请日 -
公开（公告）号 CN106871773B 公开（公告）日 2019-07-09
申请公布号 CN106871773B 申请公布日 2019-07-09
分类号 G01B7/02（2006.01）I; G01B7/06（2006.01）I; G01B11/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 郑长文 申请（专利权）人 东莞市嘉仪自动化设备科技有限公司
代理机构 东莞市华南专利商标事务所有限公司 代理人 张明
地址 526060 广东省肇庆市端州区东湖南路端州工业城A幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及检测技术领域，尤其是指一种在线非接触测厚设备，包括中心控制台和设置于中心控制台一旁的设备机架，所述设备机架上设置有导料组件、测量组件以及用于支撑测量组件的横梁顶块，所述测量组件滑动设于横梁顶块，所述测量组件包括磁场传感器、光发射器及CCD传感器；所述导料组件包括设置于测量组件下方的主动辊轮和从动辊轮；所述磁场传感器设于主动辊轮的正上方；所述光发射器和CCD传感器分别位于主动辊轮的两侧并朝向磁场传感器正对在主动辊轮的位置上。本发明通过磁场传感器和光学测微仪相结合的测量方式，能够有效减少外界因素对测量的影响，同时能对更大面积的非磁性薄膜类进行高精度测量。