一种薄片材料测厚用光谱共焦检测设备及其检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201710935797.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107643052A | 公开（公告）日 | 2018-01-30 |
| 申请公布号 | CN107643052A | 申请公布日 | 2018-01-30 |
| 分类号 | G01B11/06;G01J3/28 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郑长文 | 申请（专利权）人 | 东莞市嘉仪自动化设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东莞信律师事务所 | 代理人 | 冯蓉 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市东城街道主山上三杞工业大道立洲科技园3号楼503 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种薄片材料测厚用光谱共焦检测设备及其检测方法，包括设备外壳以及光谱共焦检测机构、工控主机、光谱测厚电箱和滚筒机构，滚筒机构包括第一滚筒部分、第二滚筒部分以及设置于第一滚筒部分与第二滚筒部分上端中部的平行杆机构，光谱共焦检测机构包括支撑座、光电开关、第一光谱控制器、第二光谱控制器、U型架、第一光谱共焦镜头、第二光谱共焦镜头以及与支撑座连接的丝杆驱动机构，第一光谱共焦镜头、第二光谱共焦镜头设置于U型架的同侧端部呈同轴线连接，U型架的底部与丝杆驱动机构的滑动块连接。本发明为在线式非接触的光谱共焦测量设备，具有超高分辨率、检测稳定、可测量小孔、更高精度、更方便快速、检测范围广等优点。 |
