双单极电容差分位移传感器

基本信息

申请号 CN201310409915.3 申请日 -
公开(公告)号 CN103557781B 公开(公告)日 2017-06-30
申请公布号 CN103557781B 申请公布日 2017-06-30
分类号 G01B7/02;G01D5/24 分类 测量;测试;
发明人 林立 申请(专利权)人 山东林诺威神工控技术有限公司
代理机构 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人 林立;山东林诺威神工控技术有限公司
地址 山东省青岛高新区松园路17号青岛市工业技术研究院A1楼113室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种双单极电容差分位移传感,具有信号处理电子设备,依次包含上感应件、目标件和下感应件;上、下感应件与信号处理电子设备相连,目标件与信号处理电子设备的地线连接;上、下感应件均包含电容屏蔽体及电容感应体,电容感应体的感应面与目标件表面相对,且对应面形状相匹配,由电容变化测得位移量。本发明还提供一种由多个双单级电容差分位移传感器组合而成复合型双单极电容差分位移传感器。