电容式传感器及组合电容式位移测量传感系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

电容式传感器及组合电容式位移测量传感系统

基本信息

申请号	CN201310612166.4	申请日	-
公开（公告）号	CN104677390B	公开（公告）日	2017-09-29
申请公布号	CN104677390B	申请公布日	2017-09-29
分类号	G01D5/241(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	林立	申请（专利权）人	山东林诺威神工控技术有限公司
代理机构	北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	林立;山东林诺威神工控技术有限公司
地址	美国特拉华州
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种电容式传感器及组合电容式位移测量传感系统，具有至少一个固定部件STATOR，具有电连接在一起的按预定的距离分布的m个导电极片的第一电容极片组，和电连接在一起的按预定的距离分布的m个导电极片的第二电容极片组，两组极片交替排列在电绝缘基底上；至少一个运动部件MOVER，具有n个接地电极片；固定部件STATOR的电容极片与运动部件MOVER的接地极片形成可变电容；运动部件MOVER以某种可控方式相对于固定部件STATOR运动改变可变电容器的重叠面积，使其电容量发生变化，可反映位移。还包括用于测量电容组电子信号、得到位移数据的信号处理系统；通过对极片形状和布局的设计得到可变电容之间的相互补偿减小电容间隙变化的影响，完成高精度大量程相对及绝对位移测量。