一种用于高精度电容阵列的电容单元
基本信息
| 申请号 | CN202111465064.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114203442A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114203442A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | H01G4/005（2006.01）I;H01G4/30（2006.01）I;H01G4/38（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 林志伦;岳庆华;刘亚东;庄志青 | 申请（专利权）人 | 灿芯半导体（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 倪继祖 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1158号礼德国际2号楼6楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于高精度电容阵列的电容单元，包括：第x层金属，有效电容单位构成为：中间的十字形金属和外围方形金属，以十字形金属为x轴y轴构成的4个象限设有不同方向的梳状金属，该梳状金属将十字形以及方形金属连接，将x层金属都作为电容下极板的一部分，外围方形开设向上的通孔；在x层冗余电容部分与有效电容部分相同。第x+1层金属至第x+2*n层金属，有效电容单元的基本构成为：外围方形金属作为下极板，中间的十字形金属作为上极板，4个象限的梳状结构或以插指形状交错形成电容或全部连接到外围的方形下极板作为屏蔽。本发明能实现多方向有效电容，并对上极板有良好的屏蔽，并且具有较高的电容匹配度。 |
