一种基于线光谱共焦传感器的晶圆量测设备
基本信息
| 申请号 | CN202123433399.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216558790U | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN216558790U | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 踪振华;李昊阳;王彦喆 | 申请（专利权）人 | 熵智科技（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518034广东省深圳市福田区华强北街道福强社区振华路中电迪富大厦7层703 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于线光谱共焦传感器的晶圆量测设备，包括包括三轴机台和线光谱共焦传感器，其中，所述三轴机台包括：X轴运动模组，其沿水平的X轴直线运动地设置；Y轴运动模组，其沿水平的Y轴直线运动地设置，且连接在所述X轴运动模组上；X轴和Y轴相互垂直；旋转检测台，其连接在所述Y轴运动模组上；Z轴运动模组，其沿竖直的Z轴直线运动地设置在所述旋转检测台的上方；视觉定位系统，其设置在所述旋转检测台的上方；所述线光谱共焦传感器连接在所述Z轴运动模组上。本实用新型的基于线光谱共焦传感器的晶圆量测设备，能够调整待测晶圆的定位状态，适应晶圆表面的精确量测。 |
