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一种等离子刻蚀机

基本信息

申请号 CN201810464195.3 申请日 -
公开（公告）号 CN108470671B 公开（公告）日 2019-08-27
申请公布号 CN108470671B 申请公布日 2019-08-27
分类号 H01J37/32 分类 基本电气元件;
发明人 梁亚;梁志强 申请（专利权）人 上海尔迪仪器科技有限公司
代理机构 上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海尔迪仪器科技有限公司
地址 201107 上海市闵行区闵北路88弄1-30号第22幢Q158室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体制造技术领域，具体的说是一种等离子刻蚀机，包括反应腔室，反应腔室内设置有离子产生电极；离子产生电极上方设置有支撑框以支撑待加工工件；支撑框上表面竖直开设有安装孔；离子产生电极在对应着安装孔的区域开设有螺纹孔，安装孔和螺纹孔通过螺钉连接；螺钉与支撑框之间设置有垫板，垫板能够避免螺钉因振动而在安装孔内发生松动；支撑框在安装孔的位置设置有密封单元，密封单元位于垫板的上方，密封单元与垫板相互配合实现对支撑框的安装孔的密封。本发明能够对密封单元进行固定，同时采用密封圈和液封等多种形式来阻止等离子体进入安装孔后对离子产生电极造成破坏，提高了刻蚀机的使用寿命。