崩环回收架
基本信息
| 申请号 | CN202110997365.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113859723A | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN113859723A | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | B65D25/10（2006.01）I;B65D81/02（2006.01）I;B65D25/00（2006.01）I;B65D85/30（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 吴应秋;尹俊辉;沈文强 | 申请（专利权）人 | 智新半导体有限公司 |
| 代理机构 | 武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 韩梦晴 |
| 地址 | 430056湖北省武汉市武汉经济技术开发区沌阳大道339号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体物料存储技术领域，本发明提供一种崩环回收架，包括：底座机构，包括基座；第一限位机构，包括设于多个支撑件，多个所述支撑件的底端均固定于所述基座上，多个所述支撑件的轴线方向均与所述基座的主表面垂直，多个所述支撑件用于限位于崩环内圆边沿处。本发明提供的崩环回收架，通过设置限位于崩环内圆边沿处的多个支撑件，对晶圆崩环起到暂存收纳作用，同时基座边沿对较薄的晶圆崩环起到物理防护作用。 |
