一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN201710128009.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108529885B | 公开（公告）日 | 2019-10-15 |
| 申请公布号 | CN108529885B | 申请公布日 | 2019-10-15 |
| 分类号 | C03C8/24;C03C14/00;C03C10/12;H01L23/15;H01L21/60 | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 刘志甫;陈冠羽;李永祥;马名生 | 申请（专利权）人 | 横店影视制作有限公司 |
| 代理机构 | 上海瀚桥专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所;横店集团控股有限公司;浙江矽瓷科技有限公司 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区定西路1295号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用，可阳极键合LTCC材料包含：70～50 wt%的β‑LiAlSi2O6微晶玻璃和30～50 wt%的β‑Al2O3陶瓷。本发明与现有的可阳极迁移LTCC材料相比实现半导化的温度低100℃，其键合温度有望降至200℃，键合电压有望降至500 V。 |
