首页/ 上海烨映微电子科技股份有限公司/ 专利详情

一种热电堆传感器及其控制方法

基本信息

申请号 CN201710449671.X 申请日 -
公开（公告）号 CN107389206B 公开（公告）日 2019-12-31
申请公布号 CN107389206B 申请公布日 2019-12-31
分类号 G01J5/16 分类 测量；测试;
发明人 徐德辉 申请（专利权）人 上海烨映微电子科技股份有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 上海烨映电子技术有限公司
地址 201800 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J310室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种热电堆传感器及其控制方法，该热电堆传感器包括加热器、温度传感器、热电堆传感器芯片；其中，热结区设置于热电堆传感器芯片的顶面，冷结区设置于热电堆传感器芯片顶面的外周或者热电堆传感器芯片的侧面；温度传感器和热电堆传感器芯片均设置于加热器的顶面；温度传感器用于获取冷结区的温度，加热器用于对热电堆传感器芯片加热并保持冷结区恒温在工作温度。本发明通过将温度传感器、加热器和热电堆传感器单片集成，利用加热器对冷结区加热，通过温度传感器对加热器的加热量进行反馈控制。当外界有热冲击造成冷结区温度波动时，通过调节加热器的加热量将外界热冲击影响消除，实现冷结区热平衡控制，进而有效提高测温精度。