一种高反射镜面形的测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201910751630.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110455501A | 公开（公告）日 | 2019-11-15 |
| 申请公布号 | CN110455501A | 申请公布日 | 2019-11-15 |
| 分类号 | G01M11/02;G01B11/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 宋治平 | 申请（专利权）人 | 南京茂莱光学科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京茂莱光学科技股份有限公司 |
| 地址 | 211102江苏省南京市江宁开发区铺岗街398号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高反射镜面形的测量装置，包括光源、分光片、准直仪、标准镜以及CCD成像系统；标准镜的前表面镀有分光膜；光源发出的光束通过分光片后由准直仪将点光源转换成平行光，平行入射光Io在经过标准镜时，一部分光线由镀有分光膜的标准镜反射返回，另一部分光线通过标准镜后到达被测镜表面，由被测镜表面反射回来，由镀有分光膜标准镜反射返回的光线IR与由被测镜表面反射回来的光线在穿过标准镜后的光线It形成干涉光线返回至分光片，通过分光片反射后进入CCD成像系统，两路相干光的强度比It/IR为0.2～1。 |
