光刻图像的生成方法、装置和电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202110170906.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112785665A | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN112785665A | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | G06T11/00 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 汪昱坤;李桂林;黄凯 | 申请（专利权）人 | 武汉华工图像技术开发有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 徐丽 |
| 地址 | 430000 湖北省武汉市华工科技园内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备，包括：获取待处理图像的像素矩阵，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。该方法通过曲线光栅替换待处理图像中的灰度值，从而避免了现有技术中渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性；同时，由于整体光栅的利用率高，增加了整体的亮度，解决了现有直线光栅制造渐变图案的固有缺陷。 |
