一种化学气相沉积炉及其旋转受热装置
基本信息
| 申请号 | CN202022788139.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213739674U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213739674U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘俊锋 | 申请（专利权）人 | 湖南碳谷新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙智德知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张敏 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市宁乡高新技术产业园区澳洲北路068号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种化学气相沉积炉及其旋转受热装置，所述的旋转受热装置包括：底座，所述底座上绕竖直轴转动设有主转轴、副转轴，三个所述的副转轴绕主转轴轴线呈环形阵列设置；主转轴、副转轴下端通过传动组件与减速机传动连接，所述主转轴上端通过快速定位机构与主回转台底部可拆卸连接，所述副转轴通过快速定位机构与副回转台底部可拆卸连接；三组呈环形阵列均布设置的加热组件设置于两两副回转台之间的空隙处。所述的化学气相沉积炉，包括：炉体、炉底，所述炉体内部中空，其下端开口且盖合于炉底上，所述炉底上安装有上述旋转受热装置。本实用新型目的旨在方便快捷地更换回转工作台，以适应不同规格产品的热处理需求。 |
