一种化学气相沉积炉及其电极加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202022776371.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213835529U | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN213835529U | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘俊锋 | 申请（专利权）人 | 湖南碳谷新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙智德知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张敏 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市宁乡高新技术产业园区澳洲北路068号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种化学气相沉积炉及其电极加热装置，所述的电极加热装置包括：三组呈环形阵列均布设置的加热组件；所述加热组件包括：截面为V形的上导电板、下导电板，以及电加热棒；所述上导电板、下导电板相对设置，且V形顶点朝向环形中心设置；所述电加热棒两端分别通过紧固机构可拆卸安装于上导电板、下导电板上。所述的化学气相沉积炉，包括：炉体、炉底，所述炉体内部中空，其下端开口且盖合于炉底上，所述炉体内壁上安装有上述电极加热装置。本实用新型目的旨在保证加热要求的前提下，充分利用加热炉内部空间，以适应产品加热需求。 |
