一种微尘清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN201922178562.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211938208U | 公开（公告）日 | 2020-11-17 |
| 申请公布号 | CN211938208U | 申请公布日 | 2020-11-17 |
| 分类号 | B08B5/02(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 魏加杰;陈伟光;卢凤军;周崇铭 | 申请（专利权）人 | 合肥通富微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭栋梁 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦6012室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种微尘清洁装置，可以应用于半导体集成电路封装领域，用于清洁待封装的半导体器件，由于半导体器件在生产的过程中易受到外部微尘的污染，在封装后无法清除，微尘会影响半导体器件的产品质量，本申请通过设置吹风组件，吹风组件包括调节装置和设置在所述调节装置上的吹风头，调节装置用于在水平方向调节吹风头的位置，吹风头包括至少一个开口向下的出气管，和设置在吹风头的下方的固定组件，吹风组件用于固定位于固定组件上方且位于吹风头下方的传送带，通过固定组件固定传送带，吹风头向半导体器件表面吹风实现对微尘的清理，进而保证了半导体器件的质量。 |
