多功能倒片器
基本信息
| 申请号 | CN201720907541.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207134343U | 公开（公告）日 | 2018-03-23 |
| 申请公布号 | CN207134343U | 申请公布日 | 2018-03-23 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴谦国 | 申请（专利权）人 | 合肥通富微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭栋梁 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦6012室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种多功能倒片器，包括支撑杆，支撑杆上沿轴向间隔排布有2个以上推动板，且至少一个推动板与支撑杆转动配合。本实用新型提供的多功能倒片器既可以实现晶圆倒片功能与晶圆分片功能，还可以在晶圆倒片与晶圆分片功能之间灵活切换，且整体结构简单。 |
