喷嘴自清洁及防护系统
基本信息
申请号 | CN201720883960.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN207126885U | 公开(公告)日 | 2018-03-23 |
申请公布号 | CN207126885U | 申请公布日 | 2018-03-23 |
分类号 | B08B3/02;B08B5/02 | 分类 | 清洁; |
发明人 | 吴谦国 | 申请(专利权)人 | 合肥通富微电子有限公司 |
代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 郭栋梁 |
地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦6012室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种喷嘴自清洁及防护系统,包括设备显影单元,所述设备显影单元内设有作业腔,所述作业腔旁安装有导轨,所述导轨上安装有机械臂,所述机械臂一端安装有喷嘴,所述喷嘴上安装有防护罩,所述设备显影单元内还设有清洗基座,所述清洗基座上设有多个用于喷出清洗液或者空气的喷头。根据本申请实施例提供的技术方案,通过在喷嘴上设置防护罩有效避免喷雾喷嘴在使用过程中对作业环境的沾污,并且能过对防护罩进行清洁,结构简单,成本低,效率高。 |
