一种靶材表面粗糙度的无痕检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110844615.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113483702A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113483702A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | G01B11/30（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;于江花 | 申请（专利权）人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种靶材表面粗糙度的无痕检测方法，所述检测方法包括以下步骤：使用标样对粗糙度仪进行点检；将样品置于检测台，将检测指示线指向样品中心，移动检测头使其位于所述样品心至样品边缘连线的中点处，并开始检测。所述检测方法可以准确测试出靶材表面粗糙度数值，检测速度快，操作便捷，检测结果准确度高，误差小。 |
