一种平面异型钛靶组件的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110758415.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113458729A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113458729A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | B23P15/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 | 申请（专利权）人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种平面异型钛靶组件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对钛靶坯端面进行车削加工螺纹处理，将所述钛靶坯加工至所需形状，得到钛靶材；在背板表面加工凹槽，所述凹槽与所述钛靶材形状相匹配；将所述钛靶材与所述背板进行装配，并依次进行包套焊接以及热等静压焊接；对焊接后的所述钛靶材与所述背板进行校平处理，得到所述平面异型钛靶组件。所述制备方法制备得到的钛靶材组件尺寸精度高，靶材平面度好，焊接结合率和结合强度高，焊接结构适用于不同厚度设计的靶材。 |
