一种物理气相沉积中的锁紧圈
基本信息
| 申请号 | CN202022356758.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214361656U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214361656U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨其垚 | 申请（专利权）人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种物理气相沉积中的锁紧圈，所述物理气相沉积中的锁紧圈包括空心底座和设置于所述空心底座上的圆环；所述圆环包括依次设置的第一圆环、第二圆环、第三圆环和第四圆环；所述第四圆环设置于所述空心底座的空心处；所述第四圆环的内侧壁上设置有凸起；所述第一圆环、第二圆环、第三圆环和第四圆环的中心线和所述空心底座的中心线相重合。通过对锁紧圈结构的改进由之前的平面改为在局部增加凸起，使得锁紧圈在机台上的使用周期延长，增加锁紧圈的使用寿命，避免了溅射粒子的堆积降低晶圆的使用性能。 |
