一种研磨组合物及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202110890010.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113480974A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113480974A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C09K3/14（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;孙慧芳;吴东青 | 申请（专利权）人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种研磨组合物及其应用，所述研磨组合物包括复合磨粒和研磨液；所述复合磨粒包括氧化物研磨料、碳化物磨粒和金刚石磨粒；所述氧化物磨粒的粒度为3‑5μm；所述碳化物磨粒的粒度为8‑12μm；所述金刚石磨粒的粒度为0.1‑1μm。所述应用包括对钼蒸发料进行研磨处理，包括如下过程：将钼蒸发料采用所述复合研磨组合物进行第一研磨和第二研磨。通过对研磨中研磨介质即研磨组合物的设计，实现了钼蒸发料表面污物和缺陷的高效去除，同时显著降低了钼蒸发料的损失率，较现有技术中的钼蒸发料损失率（40‑20％）显著降低，本发明中钼蒸发料处理后的损失率为0.05‑0.1％。 |
