一种靶材组件
基本信息
| 申请号 | CN202021677102.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214327865U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214327865U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;董志清 | 申请（专利权）人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 315400浙江省杭州市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种靶材组件，所述靶材组件中靶材的溅射端面设置有花纹环；所述花纹环中的花纹为网状花纹；所述花纹环的外径等于所述靶材的外径。本实用新型提供的靶材组件通过对靶材的反溅射面设置新的花纹，进一步增强反溅射区域对粒子的附着力，有效延长产品使用寿命，避免反溅射区域附着物脱落，导致损坏晶圆。 |
