压电谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202122921061.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216390944U | 公开（公告）日 | 2022-04-26 |
| 申请公布号 | CN216390944U | 申请公布日 | 2022-04-26 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 杨帅;吴珂;张丽蓉;庄智强;王超 | 申请（专利权）人 | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 万鹏 |
| 地址 | 210046江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种压电谐振器包括：具有声学反射镜的衬底、设置于衬底的底电极、设置于衬底并覆盖底电极的压电层、以及叠设于压电层远离底电极一侧的顶电极；声学反射镜、底电极、压电层、顶电极在压电谐振器的厚度方向上共同交叠重合形成的空间区域为谐振区，顶电极自其侧面向着顶电极的中心凹陷形成凹陷部，凹陷部未延伸至顶电极的上表面或下表面；或者，底电极自其侧面向着底电极的中心凹陷形成凹陷部，凹陷部未延伸至底电极的上表面或下表面。本实用新型的压电谐振器能够有效避免低频段产生的寄生谐振峰问题。 |
