用于MEMS麦克风的振膜及MEMS麦克风

基本信息

申请号 CN202021308185.X 申请日 -
公开(公告)号 CN216437481U 公开(公告)日 2022-05-03
申请公布号 CN216437481U 申请公布日 2022-05-03
分类号 H04R19/04(2006.01)I;H04R7/04(2006.01)I 分类 电通信技术;
发明人 赵转转;但强;王凯杰;李杨 申请(专利权)人 瑞声科技(南京)有限公司
代理机构 深圳国新南方知识产权代理有限公司 代理人 张曾明
地址 210093江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于MEMS麦克风的振膜,所述振膜包括方型主体部和由主体部四角向外延伸的第一锚定部,所述第一锚定部包括由主体部向外延伸的连接部和从连接部向外延伸的支撑部,所述主体部向外延伸形成外膜,所述外膜与所述连接部的连接处形成圆角。本实用新型主要通过在振膜的主体部与第一锚定部的连接处设置圆角,以增大振膜的面积,从而达到增大MEMS麦克风灵敏度的目的。