基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202010945469.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112098418A | 公开（公告）日 | 2020-12-18 |
| 申请公布号 | CN112098418A | 申请公布日 | 2020-12-18 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/01 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄旭;周秋俊;胡盛财;董勤;杨如意;陈尹力 | 申请（专利权）人 | 安徽皓视光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安徽皓视光电科技有限公司 |
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区4#厂房一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置，该角度补正机构包括吸盘吸附模组能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；摆臂旋转模组一端与所述丝杆滑轨模组的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组底部固定连接；丝杆滑轨模组能够驱动摆臂旋转模组带动吸盘吸附模组吸附玻璃，使玻璃在气浮条件下进行水平角度补正范围在(‑1.5°)至1.5°；其中，丝杆滑轨模组运动精度为0.1‑0.4um，摆臂旋转模组的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分。该角度补正机构能够对玻璃基板进行微调，实现对玻璃基板的角度补正，从而提高玻璃基板中缺陷的检出率。 |
