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一种基于同步运动式圆度误差分离装置及方法

基本信息

申请号 CN201711359653.9 申请日 -
公开（公告）号 CN108061532B 公开（公告）日 2019-12-03
申请公布号 CN108061532B 申请公布日 2019-12-03
分类号 G01B21/00 分类 测量；测试;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 扬州市旅游日用品制造总厂
代理机构 北京华识知识产权代理有限公司 代理人 扬州市旅游日用品制造总厂
地址 225000 江苏省扬州市杭集镇
法律状态 -

摘要

摘要 本发明一种基于同步运动式圆度误差分离装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；该方法主要在超精密圆度测量仪中引入一个可以与超精密圆度误差测量仪回转工作台同向旋转的误差分离转台，通过三次测量含有不同系统分量的圆周信号，分离出被测件的圆度误差、超精密圆度测量仪器的回转工作台径向回转误差和误差分离转台的径向回转误差中的任意一种，与应用最广泛的多步法相比，此方法完全在空域中解决问题，不涉及傅里叶变换，完全避免了谐波抑制，且测量与计算过程简单，无模型误差，为超精密级圆度误差分离提供了一种新的思路。