一种灯丝强化多弧离子镀高熵合金靶结构装置
基本信息
| 申请号 | CN202220203905.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216838158U | 公开（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申请公布号 | CN216838158U | 申请公布日 | 2022-06-28 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 许建平;陈晶 | 申请（专利权）人 | 黑龙江工程学院 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 150050黑龙江省哈尔滨市道外区红旗大街999号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种灯丝强化多弧离子镀高熵合金靶结构装置。本实用新型针对已有多弧离子镀沉积高熵合金涂层时多元素成分调控问题。本实用新型包括拼接靶、靶压套、灯丝、上灯丝柱、下灯丝柱等，拼接靶由多个扇形结构无缝组合而成，靶表面区域引入灯丝发生大量热电子增强多弧离子镀放电，提高不同元素靶区域的弧斑运动速率，调控高熵合金涂层成分。本实用新型属于高熵合金涂层制备领域。 |
