一种自适应兼具恒定研磨压力的石英坩埚去浮砂装置
基本信息
| 申请号 | CN202021298664.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213004428U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213004428U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | B24B19/22(2006.01)I;B24B47/20(2006.01)I;B24B41/04(2006.01)I;B24B49/00(2012.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 周鼎军;朱玮;左立超 | 申请（专利权）人 | 天津康帝德科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 何静 |
| 地址 | 300403天津市滨海新区睦宁路34号泰达高科技工业园18-102号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种自适应兼具恒定研磨压力的石英坩埚去浮砂装置，包括机架，设置在机架上的水平传输机构和垂直设置于水平传输机构两侧的竖向传输机构，相对设置于竖向传输机构下方的直壁面研磨机构和圆弧面研磨机构以及控制器；直壁面研磨机构包括位移轨迹与坩埚的直壁面轮廓贴合的磨石组件一、用于调节磨石沿坩埚回转方向旋转角度的自适应调节结构一和若干用于监测磨石组件一位移轨迹的传感器一；圆弧面研磨机构包括位移轨迹与坩埚的圆弧面轮廓贴合的磨石组件二、用于调节磨石沿垂直于坩埚回转方向旋转角度的自适应调节结构二和若干用于监测磨石组件二位移轨迹的传感器二；传输机构、圆弧面研磨机构和直壁面研磨机构均与控制器电性连接。 |
