一种单晶炉副室自动清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202121307462.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560789U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560789U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 周鼎军;朱玮;高学恒;王猛猛 | 申请（专利权）人 | 天津康帝德科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 何静 |
| 地址 | 300403天津市滨海新区睦宁路34号泰达高科技工业园18-102号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉副室自动清洗装置，包括移动机构、升降机构、辅助升降机构、清洗机构以及控制升降机构和清洗机构运行的控制系统；升降机构垂直固接于移动机构上，其顶部连接有清洗机构；升降机构包括若干按管径从大到小自下至上依次套接且呈阶梯状排列的升降节和传动装置，传动装置驱动最下方的升降节上升或下降，最下方的升降节通过辅助升降机构带动其余升降节逐节上升或下降；本实用新型具有结构简单，设计合理，升降机构逐节均匀升降，升降的稳定性和可靠性好，自锁性好，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，具有广阔的应用前景，有利于推广应用。 |
