一种单晶炉副室自动清洗装置

基本信息

申请号 CN202121308599.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215543456U 公开(公告)日 2022-01-18
申请公布号 CN215543456U 申请公布日 2022-01-18
分类号 B08B9/087(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 高学恒;周鼎军;朱玮;王猛猛 申请(专利权)人 天津康帝德科技有限公司
代理机构 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 何静
地址 300403天津市滨海新区睦宁路34号泰达高科技工业园18-102号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶炉副室自动清洗装置,包括清洗小车,升降机构,旋转擦洗机构以及控制系统,升降机构的底部与清洗小车固接,其顶部连接有旋转擦洗机构,旋转擦洗机构包括清洗底座,清洗底座上固接有旋转电机,旋转电机通过齿轮传动机构带动上方的旋转底板往复旋转,旋转底板上方设有张紧圆环,张紧圆环由至少两个环绕分布且可水平伸缩的外壁面呈弧状的圆环单体构成,通过向外伸张或者向内收缩实现张紧圆环直径的调节,张紧圆环上方设有缠布治具,本实用新型体积较小,操控灵活,通过旋转擦洗机构与升降机构的配合,解决了空间和高度的难题,实现了对单晶炉副室内壁的全面清洗,工作效率高,清洗效果好,省时省力,安全高效。