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氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置

基本信息

申请号 CN202110864294.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113737278A 公开（公告）日 2021-12-03
申请公布号 CN113737278A 申请公布日 2021-12-03
分类号 C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B29/18（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈维恕 申请（专利权）人 达高工业技术研究院（广州）有限公司
代理机构 广州科沃园专利代理有限公司 代理人 张帅
地址 510530广东省广州市黄埔区新瑞路6号B201房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，包括反应炉，反应炉为反向石英双炉管设计，反应炉的上端开设有石英分隔板，石英分隔板将反应炉的内外双石英管分为内通道和外通道，内通道上设置有第一进气口和第二进气口，外通道上设置有出气口，反应炉的顶端设置有进料口，进料口上方设置有多层石墨基座，多层石墨基座通过升降机构进入进料口进行反应，反应炉的外管壁上由上而下分别设置有第一线圈和第二线圈，第一线圈和第二线圈用于为反应炉加热，本发明利用反向的反应炉管以及多层石墨基座，并用线圈式的感应加热方式，可以大大节省径向空间，精确控制石墨基座的温度，指导晶体生长方向，大大提高反应温度控制精度，提高产品整体质量。