一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管

基本信息

申请号	CN201120379895.6	申请日	-
公开（公告）号	CN202275863U	公开（公告）日	2012-06-13
申请公布号	CN202275863U	申请公布日	2012-06-13
分类号	H01L31/18(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	黄志林;肖剑峰;周体	申请（专利权）人	宁波升日太阳能电源有限公司
代理机构	宁波奥圣专利代理事务所（普通合伙）	代理人	程晓明;周珏
地址	315040 浙江省宁波市高新区星光路211号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管，其为双层结构，包括外层石英管和内层气流均衡管，外层石英管内径向设置有口部石英支撑圆盘和尾部石英支撑圆盘，内层气流均衡管置放于两个石英支撑圆盘上，外层石英管和内层气流均衡管之间的环形空隙中沿轴向均匀设置有多块石英隔流板，多块石英隔流板分环形空隙为多个气流腔，内层气流均衡管上均匀分布有多个气流孔，尾部石英支撑圆盘上连接有与内层气流均衡管连通的废气排放管及与气流腔连通的工艺气体进气管，使用时工艺气体通过气流腔再经气流孔均匀沉积到硅片表面上，这种结构的石英炉管实现了对气流的控制并加以稳定，可提高硅片和整管晶硅电池扩散方阻的均匀性到±2%以内。