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一种硅片切割方法

基本信息

申请号	CN200910101331.3	申请日	-
公开（公告）号	CN101628452B	公开（公告）日	2011-09-28
申请公布号	CN101628452B	申请公布日	2011-09-28
分类号	B28D5/04(2006.01)I	分类	加工水泥、黏土或石料;
发明人	徐洪峰;贺林丰;王作为;庄敏	申请（专利权）人	宁波升日太阳能电源有限公司
代理机构	宁波奥圣专利代理事务所（普通合伙）	代理人	程晓明
地址	315040 浙江省宁波市高新区星光路211号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种硅片切割方法，当放线线轴驱动电机驱动放线线轴正向放线250m～270m后，通过控制系统控制放线线轴驱动电机、收线线轴驱动电机、第一导轮驱动电机及第二导轮驱动电机同步反向转动，再在收线线轴驱动电机驱动收线线轴反向放线60m～70m后，由控制系统控制四个电机再次正向转动，这样反复一来一回类似于拉锯条式对硅棒进行来回切割，由于在切割线往前走了一段距离后，切割线再往回走了一段距离，这样在保证切割线不受断裂影响的情况下，有效提高了切割线的利用率，且由于是来回对硅棒进行切割的，在正向切割硅棒时可能会使硅片上下产生厚薄不均，但在反向切割时会有效矫正方向，大大缩小硅片上下的厚薄差异，从而提高了硅片的质量。